ДОСЛІДЖЕННЯ ТЕПЛОВОГО СТАНУ КОМІРКИ АПАРАТА ВИСОКОГО ТИСКУ З ВИКОРИСТАННЯМ КОМБІНОВАНИХ НАГРІВАЧІВ ПРИ ВИРОЩУВАННІ КРИСТАЛІВ НІТРИДУ ҐАЛІЮ

Олексій Людвіченко; Олександр Лєщук; Сергій Гордєєв; Ігор Петруша

Олексій Людвіченко ІНМ
Олександр Лєщук Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України. https://orcid.org/0009-0006-2008-1399
Сергій Гордєєв Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України. https://orcid.org/0009-0009-8318-1209
Ігор Петруша Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України.

Ключові слова: Ключові слова: нітрид ґалію, апарат високого тиску (АВТ), комірка високого тиску (КВТ), метод скінченних елементів (МСЕ).

Анотація

З використанням методу скінченних елементів отримані поля температури, градієнта температури, густини джерел джоулевого тепла в апараті високого тиску «тороїд–40». Застосування цих даних дало можливість модернізувати комірку, призначену для проведення експериментальних досліджень з вирощування кристалів нітриду ґалію. Розглянуто характер впливу на тепловий стан ростового об’єму розміру торцевих нагрівачів, що входять до складу резистивного ланцюга апарата високого тиску. В результаті визначено розміри комбінованих торцевих нагрівачів, при використанні яких максимум температури знаходиться у верхній частині ростового об’єму і градієнти температури є мінімальними. Таким умовам відповідають значення радіусів верхнього і нижнього торцевих нагрівачів у 5 мм.