ДОСЛІДЖЕННЯ ТЕПЛОВОГО СТАНУ КОМІРКИ АПАРАТА ВИСОКОГО ТИСКУ З ВИКОРИСТАННЯМ КОМБІНОВАНИХ НАГРІВАЧІВ ПРИ ВИРОЩУВАННІ КРИСТАЛІВ НІТРИДУ ҐАЛІЮ

Аннотация

З використанням методу скінченних елементів отримані поля температури, градієнта температури, густини джерел джоулевого тепла в апараті високого тиску «тороїд–40». Застосування цих даних дало можливість модернізувати комірку, призначену для проведення експериментальних досліджень з вирощування кристалів нітриду ґалію. Розглянуто характер впливу на тепловий стан ростового об’єму розміру торцевих нагрівачів, що входять до складу резистивного ланцюга апарата високого тиску. В результаті визначено розміри комбінованих торцевих нагрівачів, при використанні яких максимум температури знаходиться у верхній частині ростового об’єму і градієнти температури є мінімальними. Таким умовам відповідають значення радіусів верхнього і нижнього торцевих нагрівачів у 5 мм.