ИССЛЕДОВАНИЕ СОСТОЯНИЯ РАБОЧЕЙ ПОВЕРХНОСТИ ИНСТРУМЕНТА ПРИ ПОЛИРОВКЕ ПОДЛОЖЕК ИЗ НИТРИДА АЛЮМИНИЯ

Аннотация

Целью данного исследования является изучение механизма взаимодействия частиц шлама и износа полировального порошка при полировании подложек из керамики на основе нитрида алюминия с помощью суспензии порошков нитрида бора КМ 0,5/0. На основе квантово-механической теории рассеяния частиц рассчитано полное эффективное сечение рассеяния частиц шлама и износа, характеризующее вероятность рассеяния частиц в направлении рабочей поверхности притира, и функцию его распределения в зависимости от радиуса круговых зон поверхности притира. Экспериментально установлено, что фрагменты налета с частиц шлама и износа располагаются в круговой зоне, размеры и координаты местонахождения которой практически совпадают с рассчитанными теоретически пределами. Результаты исследования можно использовать для анализа процесса полирования неметаллических материалов с помощью суспензий из разных полировальных порошков, что имеет большое практическое значение, особенно, при разработке технологических процессов финишной обработки деталей электронной техники и оптических систем из стекла, керамики, ситаллов, оптических и полупроводниковых кристаллов. Особая ценность исследования заключается в возможности прогнозирования работоспособности новых полировальных суспензий при использовании конкретных материалов притира