ДОСЛІДЖЕННЯ СТАНУ РОБОЧОЇ ПОВЕРХНІ ІНСТРУМЕНТУ ПРИ ПОЛІРУВАННІ ПІДКЛАДОК З НІТРИДУ АЛЮМІНІЮ

Анотація

Метою даного дослідження є вивчення механізму взаємодії частинок шламу та зносу полірувального порошку при поліруванні підкладок з кераміки на основі нітриду алюмінію за допомогою суспензії порошків нітриду бора КМ 0,5/0. На основі квантово-механічної теорії розсіювання частинок розраховано повний ефективний переріз розсіювання частинок шламу та зносу, який характеризує ймовірність розсіювання частинок в напрямку робочої поверхні притиру, та функцію його розподілу в залежності від радіусу колових зон поверхні притиру. Експериментально встановлено, що фрагменти нальоту із частинок шламу та зносу розташовуються в коловій зоні, розміри і координати місцезнаходження якої практично співпадають з розрахованими теоретично межами. Результати дослідження можна використовувати для аналізу процесу полірування неметалевих матеріалів за допомогою суспензій з різних полірувальних порошків, що має велике практичне значення, особливо, при розробці технологічних процесів фінішної обробки деталей електронної техніки та оптичних систем зі скла, кераміки, ситалів, оптичних та напівпровідникових кристалів. Особлива цінність результатів дослідження полягає в можливості прогнозування працездатності нових полірувальних суспензій стосовно використання конкретних матеріалів притиру